一、基于SU-8胶的微针执行器的研制（论文文献综述）
高佳丽[1]（2015）在《长耳鸮初级飞羽阻尼减振特性仿生研究》文中研究说明鸮形目鸟类经过亿万年的自然选择和生物进化,其躯体具有独特的降噪能力,能够实现静音飞行。因此,研究鸮形目鸟类的静音飞行机理,对于探索噪声抑制的新原理和新技术,以及降低工程应用中的噪声污染具有重要的启发意义。本文为进一步揭示鸮形目鸟类静音飞行机理,促进降噪材料的仿生研究,以长耳鸮为主要研究对象,并与金雕和信鸽进行对比,定量研究了三种鸟类初级飞羽跨尺度多级分叉结构的几何形态、材料粘弹阻尼和减振性能,并基于生物异速增长模型给出了长耳鸮初级飞羽多级分叉结构的几何尺寸跨尺度联系和材料力学特性跨尺度联系。同时,针对微机电系统（MEMS）中结构、器件的振动控制需求,通过实验测试研究了聚合物SU-8光刻胶材料的力学特性参数和阻尼性能,旨在为MEMS领域仿生降噪结构或器件的设计和制造提供理论基础。论文的工作与成果包括以下几个方面：（1）长耳鸮、金雕和信鸽三种鸟类初级飞羽多级分叉结构的形态学研究。对比观测结果表明,长耳鸮初级飞羽具有均匀细长的羽纤枝和羽小枝、狭长卷曲的羽枝腹缘。初级飞羽多级分叉结构几何尺寸参数结果表明,长耳鸮初级飞羽多级分叉结构长径比大于金雕和信鸽,同时其分支斜生角度值基本恒定,平均值为44.3°。（2）三种鸟类初级飞羽多级分叉结构的材料粘弹阻尼性能研究。采用Instron 3345单立柱试验系统与自主开发的微拉伸测试系统,分别对三种鸟类初级飞羽羽干、羽枝和羽小枝进行恒定速率的单轴拉伸实验研究。采用标准线性固体模型分析羽毛材料在拉伸过程中的粘弹力学行为,并计算得到羽毛分支结构的粘弹性参数（E1、E2、η）和损耗因子（tan δ）。对比发现,三种鸟类初级飞羽中,长耳鸮初级飞羽分支结构具有最优异的材料阻尼性能。（3）三种鸟类初级飞羽及其羽枝结构的减振特性研究。基于精密位移测量与超高速摄像技术,分别对三种鸟类飞羽整体及其羽枝结构进行自由振动实验研究,并得到初级飞羽整体、羽枝结构的阻尼比（ζe）。结果表明,长耳鸮初级飞羽结构的阻尼比值高于金雕和信鸽,因而其飞羽在振翅过程中能耗散更多的振动能量,从而对羽毛结构振动和相互摩擦诱发的机械性噪声及羽毛结构四周气流扰动引起的气动性噪声进行有效抑制。（4）长耳鸮初级飞羽跨尺度多级分叉结构的异速增长关系研究。根据几何尺寸参数测试结果,三种鸟类初级飞羽分支直径和分支长度之间的几何属性联系可以采用异速增长模型描述。同时基于异速增长模型建立了长耳鸮初级飞羽跨尺度多级分叉结构材料特性参数（E1、η）和分支长度间的属性联系,为材料仿生设计提供依据。（5）基于自主开发的微拉伸测试系统,测试研究12种不同长宽比尺寸的聚合物SU-8胶双端固支梁试样的力学特性参数。根据实验结果,提出了有效长宽比是微尺度下表征SU-8材料杨氏模量和最大应变尺寸效应的重要参数,可为其仿生设计提供参考。同时基于DMA测试研究了SU-8矩形薄膜的阻尼性能。结果表明SU-8薄膜在75℃～150℃范围内,其损耗因子达到0.08～0.21。在未来的研究中,可以通过对其进行改性研究,以提高其阻尼性能和力学性能,为跨尺度减振结构,尤其是微尺度减振结构的设计和制造打下基础。
李以贵,谢长生,廖哲勋,朱军[2]（2014）在《基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试》文中提出为达到低成本、批量化制备微针阵列的目的,提出了一种分别制备微针针尖模具和微针立柱模具的微针模具制备方法.制备微针针尖硅模具是采用湿法刻蚀方法,SU-8微针的立柱部分则采用套刻工艺制备.以此模具为母版,采用聚二甲基硅氧烷（PDMS）二次转写技术获得PDMS二次母版.以PDMS母版为模具,分别用浇铸法制备了3种不同聚合物材料（左旋聚乳酸（PLLA）,聚苯乙烯（PS）,透明质酸（HA））的微针阵列;还以PDMS母版为模具,用电铸法制备了金属Ni微针阵列.该微针阵列的密度约为300根针/cm2.对制备的4种微针进行力学特性测试,实验结果表明,加工出的微针有足够的力学强度,可用于无痛注射.
吕明[3]（2012）在《基于三维线算法的SU-8胶光刻模拟》文中研究说明MEMS（微机电系统）是多学科交叉的前沿性研究领域，在航空航天、汽车、生物医学、环境监控等诸多民用和军用领域都有重要的应用。近十年来MEMS技术经历了一个飞速发展的过程，对其结构的尺寸和复杂性等都有了更高的要求，同时MEMS工艺的模拟技术的研究也有较大进展。例如，对MEMS刻蚀工艺的二维模拟，已有一些研究报道[1-2]。然而三维工艺模拟仍然面临许多挑战，使用较低的CPU和内存资源实现更快的模拟速度和理想的模拟精度已成为现阶段的需要。SU-8胶在MEMS等微加工领域的应用越来越多，在UV-LIGA技术中，SU-8胶有其独特的优点，例如生产低成本、性质稳定、耐高温等。SU-8胶光刻是一种MEMS特有的工艺，可以较低的成本实现传统工艺难以实现的精巧结构。光刻过程的模拟包含有曝光，后烘，显影或者称为刻蚀等几个步骤，其中光刻胶的显影过程模拟是耗时最多的一个模拟过程。目前，用于光刻胶刻蚀过程模拟的元胞自动机（CA）算法速度较慢，不利于实现日趋重要的多步加工工艺模拟。为了提高算法的运算效率，本文采用二维法向量作为分量,加权求和近似得到三维网格点上的单位法向量,将经典的二维线算法改进为三维形式，并综合SU-8胶光刻过程中衍射、吸收率随光刻胶深度的变化及交联显影等各种效应,应用该三维线算法对SU-8化学放大胶进行光刻过程三维建模。在此基础上采用C语言对各个模块分立编程，并用MATLAB软件对程序输出数据加以作图分析，达到三维可视效果。SU-8胶作为一种微器件加工胶模，其光刻尺寸精度直接影响到微器件的尺寸精度，因此，对SU-8胶微尺寸的要求也越来越高。本文在给出模拟结果的同时考虑到衍射效应使得侧壁不再垂直，基于丙三醇与光刻胶折射率相近，可以在掩膜版和SU-8胶间隙中添加丙三醇来减少衍射对图形尺寸造成的影响，文章对这一过程进行了模拟，模拟结果较为精确，可在实际应用中对SU-8胶光刻模拟结果进行有效预测。
汪鹏[4]（2009）在《PDMS在微流控生物芯片技术中的新型应用》文中研究指明本论文研究了PDMS（聚二甲基硅氧烷）在微流控芯片技术中的新型应用,包括纳米粒子改性PDMS用于微流控流道的制作;PDMS转印用于关键器件-聚合物微针的制作;以及PDMS制作的微阀在微浓度梯度芯片中的应用。本论文的主要工作有:1.概述了微流控聚合物芯片常见的加工方法,重点介绍了热压工艺以及热压工艺中模具的加工方法,并提出一种新型的低成本、快速的热压模具制作法,利用纳米粒子改性PDMS,提高其物理性能,并用改性PDMS做热压模具,制作微流道芯片。2.对聚合物微针的常见加工方法进行综述,并提出一种新型的低成本的实心微针制作方法,充分利用了PDMS精确复制图形,容易脱模的优点,结合体硅工艺和UV-LIGA工艺,制作一种环氧树脂的实心异面采样微针。3.充分发挥PDMS杨氏模量小,容易发生形变的特点,设计制作了一种微流控芯片中的常用器件—微阀,即气动常开的微阀,并应用于一种微阀控制的多分子梯度反应芯片中。本论文工作紧紧围绕统PDMS材料的特点,结合本实验室工艺特色,研究开发出有针对性的,低成本的,工艺简单的,非常规的工艺方法,来加工生物芯片中的微管道以及各种器件。
张骏勇[5]（2006）在《经皮给药用金属微针阵列的研究与设计》文中进行了进一步梳理经皮给药作为药物释放的一种新途径,将成为21世纪最重要的给药方式之一。传统的被动式经皮给药严重受限于皮肤角质层的阻碍,利用微针阵列破坏角质层可改善皮肤对药物的渗透性,大大提高经皮给药效率。本文以提高我国先进给药技术水平为目标,设计了几种安全、实用、低成本的经皮微针阵列,具备良好力学性能和药物促渗能力。论文对经皮微针阵列的设计和制备进行了深入探讨,重点研究了经皮微针阵列力学性能及促进体外经皮给药能力。在综述当前国内外经皮微针阵列发展概况的基础上,提出经皮给药用微针阵列的要求。结合国内加工条件,提出了一条基于传统的金属蚀刻加工环境的微针阵列加工路线,设计并制备了几种不同结构的不锈钢微针阵列。对表面形貌进行显微观测,制备效果跟针尖角度、针高、微针密度、冲压工具等密切相关。针对经皮微针阵列使用方法和特点,构建了一个分布式结构的力学性能实验平台。用制备的不锈钢微针阵列成功刺入了苹果和猪皮,测得刺穿猪皮角质层的力为64N。具备足够的机械强度和结构稳定性,可用于经皮给药实验。利用不锈钢微针阵列对大白鼠进行了鬼臼毒素的体外经皮实验,比较分析了不同针形的微针阵列的促渗能力及压针时间对给药效果的影响。研究发现矛头形微针阵列促渗效果最好。压针时间越长,药物透皮量越高。
明平美[6]（2006）在《UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究》文中提出MEMS （Micro Electromechanical System）技术作为新兴技术,受到学术界、产业界和政府部门的极大重视,已经在信息、精密机械、汽车、航空航天、生物医药和国防等领域得到较广泛应用。微细加工是MEMS和Micro/Meso尺度结构器件的实现基础和技术关键。以具有优越热力学、光学和化学性能的SU-8系列光刻胶为光敏材料、紫外光为曝光光源的UV-LIGA技术,是借用LIGA（德语:LIthograpie,Galvanoformung,Abformung三词缩写,由X射线光刻、电铸成型和塑铸成型等三个主要工艺步骤组成）工艺思路,且制造成本低廉、工艺可控性好、易于实现批量生产、胶模制作质量高的新型高深宽比三维Micro/Meso结构技术,是近年微细加工领域的研究热点。微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微制造中具有独特的工艺优势,尤其在加工Micro/Meso尺度金属结构器件方面表现突出。整合UV-LIGA和MicroEDM各自工艺优点而形成UV-LIGA-MicroEDM组合加工技术以制造形状复杂、材料性能优越或特殊的Micro/Meso尺度结构器件,是微细加工的创新性思路。本文在国家自然科学基金（50375073）和两项江苏省自然科学基金（BK2002206、BK2004214）的资助下,围绕UV-LIGA及其与微细电火花加工技术组合以制造Micro/Meso尺度金属结构器件的一些技术基础和工艺关键进行了探讨与研究。全文共七章:第一章概述了UV-LIGA及其与微细电火花组合加工的研究现状、技术关键以及本文的研究内容。第二章描述了SU-8胶光刻各操作环节的工艺基础和技术难点,以金属基片上制备厚度100200μm胶模为对象,试验研究并优化了前烘、曝光、后烘等工艺环节的操作条件及工艺参数。相比硅基片SU-8胶光刻工艺,降低前后烘程度和适度提高曝光剂量,并辅助超声振动去除胶中气体、静置、随炉冷却等措施,能大大改善胶模质量。试验研究并分析了超声功率对不同特征类型（阳型和阴型）胶模结构显影质量的影响并优选了各自适宜的功率大小,阳型结构实施的超声功率要比阴型结构要低一定值。分析了不同金属片（不锈钢和铜）不同特征类型（阳型和阴型）胶模去胶的工艺特点,并开展了相应试验研究,用NMP去胶液作为去胶试剂,辅助加热、溶液超声振动搅拌、热胀冷缩等措施,获得较为理想的去胶效果。在此基础上,制备出了轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底粘结性强的平面微线圈、微型流道、微型柔性探针和筛网等胶模。第三章在分析电沉积时电极过程液相传质方式及其作用规律的基础上,探讨了微细电铸时物质输运受限的影响因素,建立了微深槽类特征电沉积时液相传质的两种数值分析模型（一维模型和二维模型）,分别描述多种物质组分的扩散、电离、电迁移和电沉积的动力学过程和单一物质组分在强制对流、自然对流和扩散等综合作用下的物质传输情
秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,夏善红[7]（2004）在《基于SU-8胶的微针执行器的研制》文中认为利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为5 0 0 μm×6 0 μm×6 0 μm,针孔截面为2 0 μm×2 0 μm。
秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,夏善红[8]（2004）在《基于SU-8胶的微针执行器的研制》文中研究表明利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为500μm×60μm×60μm,针孔截面为20μm×20μm。
秦宁[9]（2004）在《SU-8微针执行器的研究》文中提出生化微系统是MEMS的重要方向之一，而生化样品的微量取样和计量是生化分析过程的重要环节，微针执行器的研究因此受到关注。本文总结了国内外关于微针执行器的研究，提出了一种新的设计方案。 作者设计了一种用于生化样品的微量计量和采样的电磁驱动的微针执行器。此微针执行器的结构包括微针、微通道、反应室、金电极以及永磁阵列组成的隔膜执行器。通过外加电磁场，可以实现双向的驱动。整个执行器的尺寸为6mm×8mm×60μm，其针孔截面为20μm×20μm。 作者利用MEMS技术，以SU—8胶为材料制作了微针结构，利用电镀工艺制作永磁阵列，并研制出雏形器件。文中对两种工艺的步骤和参数，进行了详细的介绍，对其中出现的问题，也进行了实验和摸索，并提出了几种解决方案。 作者不仅提出了以SU—8胶为主要材料制作执行器的结构，并且提出了通过永磁阵列实现电磁双向驱动。在工艺上，本文提出了“分层堆积，多次曝光，一次显影”的方法来制作3D结构。新的设计方案，主要优点在于工艺简单，成本低廉。新方案还在结构和工艺上有所创新。
秦宁,赵湛,陈绍凤,夏善红[10]（2003）在《SU-8微针执行器的研究》文中认为设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技术 ,研制出了微针执行器的雏形器件。微针的尺寸为 6 0 0 μm× 80 0 μm× 4 0 μm ,微针孔径截面为 2 0 μm× 2 0 μm ,并给出了SEM分析的研究结果
二、基于SU-8胶的微针执行器的研制（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、基于SU-8胶的微针执行器的研制（论文提纲范文）
（1）长耳鸮初级飞羽阻尼减振特性仿生研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 主要符号表 |
| 1 绪论 |
| 1.1 研究背景与意义 |
| 1.1.1 仿生学的发展 |
| 1.1.2 鸮类静音飞行特性及仿生意义 |
| 1.2 国内外相关工作研究进展 |
| 1.2.1 鸮类静音飞行的生物机理研究 |
| 1.2.2 鸮类静音飞行的仿生应用 |
| 1.2.3 静音鸮羽毛结构的材料特性研究 |
| 1.2.4 聚合物基减振降噪材料 |
| 1.3 本文主要研究思路 |
| 2 长耳鸮初级飞羽的形态学研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 生物模本 |
| 2.3 形态学观测 |
| 2.4 结构参数的测量 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 长耳鸮初级飞羽的粘弹阻尼特性研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 粘弹阻尼模型 |
| 3.2.1 标准线性固体模型 |
| 3.2.2 阻尼性能 |
| 3.3 实验材料及方法 |
| 3.3.1 样品制备 |
| 3.3.2 测试设备及方法 |
| 3.4 初级飞羽多级分叉结构的粘弹阻尼特性测试 |
| 3.4.1 多级分叉结构的横截面表征结果 |
| 3.4.2 多级分叉结构的测试结果 |
| 3.4.3 粘弹阻尼性能 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 长耳鸮初级飞羽的阻尼减振行为研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 自由振动分析 |
| 4.3 实验材料及方法 |
| 4.3.1 实验材料 |
| 4.3.2 测试设备及方法 |
| 4.4 初级飞羽结构的自由振动衰减实验 |
| 4.4.1 自由振动实验结果 |
| 4.4.2 阻尼比 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 长耳鸮初级飞羽多级分叉结构的异速增长关系研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 异速增长模型 |
| 5.3 长耳鸮初级飞羽多级分叉结构的几何属性联系 |
| 5.4 长耳鸮初级飞羽多级分叉结构的材料属性联系 |
| 5.5 本章小结 |
| 6 微尺度下聚合物SU-8胶材料的力学和阻尼特性研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 聚合物SU-8材料拉伸梁的设计与制作 |
| 6.2.1 微拉伸梁的设计 |
| 6.2.2 微拉伸梁的制作工艺 |
| 6.3 聚合物SU-8材料微拉伸梁的力学特性参数 |
| 6.3.1 微拉伸梁的实验测试 |
| 6.3.2 微拉伸梁的力学特性参数 |
| 6.3.3 微拉伸梁力学特性参数的长径比效应 |
| 6.4 聚合物SU-8薄膜的阻尼性能 |
| 6.5 本章小结 |
| 7 结论与展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 创新点 |
| 7.3 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
（2）基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试（论文提纲范文）
| 1 微针阵列的制备 |
| 2 微针的制备结果 |
| 3 微针的力学测试 |
| 4 结语 |
（3）基于三维线算法的SU-8胶光刻模拟（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 致谢 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 MEMS 技术简介 |
| 1.2 MEMS CAD 介绍 |
| 1.3 SU-8 胶的主要成分 |
| 1.4 本课题研究的目的及意义 |
| 1.5 本论文的课题来源 |
| 1.6 本文的内容结构 |
| 第二章 SU-8 胶的应用 |
| 2.1 LIGA 技术 |
| 2.2 SU-8 胶的主要应用 |
| 第三章 SU-8 胶光刻理论 |
| 3.1 光刻基础理论 |
| 3.1.1 光刻对比度 |
| 3.1.2 溶胀的基础理论 |
| 3.2 常见的曝光系统 |
| 3.3 光刻模型的建立 |
| 3.3.1 衍射模型 |
| 3.3.2 曝光模型 |
| 3.3.3 后烘与显影模型 |
| 第四章 现有模型算法及应用于 3D 线算法的显影建模 |
| 4.1 元胞自机动模型 |
| 4.1.1 二维 CA 模型 |
| 4.1.2 三维 CA 模型 |
| 4.2 线算法模型 |
| 4.3 线算法与元胞算法的对比 |
| 第五章 SU-8 胶光刻技术的三维仿真模拟及结果讨论 |
| 5.1 基于线算法的 3D 显影模型 |
| 5.2 SU-8 胶模拟仿真结果 |
| 5.3 衍衍射效应与与丙三醇补补偿办法 |
| 5.4 其它图形仿真结果 |
| 5.5 总结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 本论文主要工作总结 |
| 6.2 本课题工作展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 |
（4）PDMS在微流控生物芯片技术中的新型应用（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 微流控技术 |
| 1.2.1 微流控技术简介 |
| 1.2.2 聚合物微流控芯片微通道的成形工艺 |
| 1.2.3 微流控芯片成形模具制备工艺 |
| 1.3 微流控关键器件----微针的应用及研究意义 |
| 1.3.1 微针的应用领域以及研究意义 |
| 1.3.2 微针在生物医学方面的应用 |
| 1.3.3 微针分类和加工方法 |
| 1.4 微流控工艺的材料——PDMS |
| 1.4.1 PDMS 的物理化学性质 |
| 1.4.2 PDMS 加工工艺 |
| 1.5 PDMS 微阀在微浓度梯度芯片 |
| 1.5.1 PDMS 微阀 |
| 1.6 本论文的研究意义及主要研究内容 |
| 1.6.1 研究目的及意义 |
| 1.6.2 研究内容 |
| 1.7 本章小结 |
| 第二章 纳米粒子改性PDMS 制作热压模具 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 PDMS 的性能特点及其改性 |
| 2.3 PDMS 改性技术制作热压模具工艺实验 |
| 2.3.1 光刻胶模板的制备 |
| 2.3.2 改性PDMS 模具的制备 |
| 2.3.3 利用PDMS 模具进行聚合物材料的热压 |
| 2.3.4 改性PDMS 力学性能测试 |
| 2.3.5 电泳芯片的制备 |
| 2.4 结果与讨论 |
| 2.4.1 热压结果 |
| 2.4.2 力学测试结果 |
| 2.4.3 表面粗糙度的研究 |
| 2.4.4 电泳芯片的制备 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 PDMS 在制备聚合物微针中的应用 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 微针工作原理和聚合物微针的加工方法 |
| 3.2.1 微针的结构和工作原理 |
| 3.2.2 聚合物微针的加工方法 |
| 3.3 体硅微加工与UV-LIGA 复合工艺 |
| 3.4 PDMS 技术制作聚合物微针的设计 |
| 3.4.1 微针结构材料的选取 |
| 3.4.2 聚合物微针阵列的结构设计 |
| 3.4.3 微针力学分析 |
| 3.4.4 加工方案的确定 |
| 3.5 应用PDMS 制作聚合物微针实验 |
| 3.6 实验结论 |
| 3.7 本章小结 |
| 第四章 PDMS 在微阀门控制浓度梯度反应芯片中的应用 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 PDMS 薄膜微阀原理与加工方法 |
| 4.3 微流体浓度梯度芯片 |
| 4.4 微阀控制多分子微浓度梯度反应芯片 |
| 4.4.1 浓度梯度芯片沟道的设计 |
| 4.4.2 微梯度芯片的数学建模 |
| 4.4.3 COMSOL 流体模拟 |
| 4.5 微阀门控制浓度梯度反应芯片中的制作 |
| 4.6 芯片的测试 |
| 4.6.1 浓度梯度芯片的验证 |
| 4.6.2 微阀门控制浓度梯度反应芯片的测试 |
| 4.7 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 论文研究工作总结 |
| 5.2 本文创新点小结 |
| 5.3 未来工作展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 致谢 |
（5）经皮给药用金属微针阵列的研究与设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题来源 |
| 1.2 课题背景 |
| 1.3 课题目的与意义 |
| 1.4 国内外研究概况与趋势 |
| 1.5 本文的主要工作 |
| 2 经皮微针阵列原理 |
| 2.1 微针阵列用于经皮给药的机理 |
| 2.2 经皮微针阵列的用途及用法 |
| 2.3 现有微针阵列的缺陷 |
| 2.4 经皮微针阵列的要求与可行方案 |
| 3 金属微针阵列的设计与制备 |
| 3.1 设计的依据 |
| 3.2 金属微针阵列的设计与制备 |
| 3.3 微针阵列的二次加工与装配 |
| 3.4 微针阵列的表面形貌 |
| 4 微针阵列力学性能测试实验 |
| 4.1 实验的目的与内容 |
| 4.2 实验原理与方案 |
| 4.3 实验平台的总体结构 |
| 4.4 实验平台的硬件结构 |
| 4.5 实验平台的软件实现 |
| 4.6 实验方法与过程 |
| 4.7 实验结果与分析 |
| 5 微针阵列用于经皮给药的实验 |
| 5.1 实验目的与内容 |
| 5.2 实验所用仪器与材料 |
| 5.3 实验方法 |
| 5.4 实验过程 |
| 5.5 结果与讨论 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 全文总结 |
| 6.2 对未来工作的展望及建议 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 |
| 附录2 力学标定实验数据 |
（6）UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究（论文提纲范文）
| 第一章 绪论 |
| 1.1 微结构、微器件和微系统 |
| 1.2 金属Micro/Meso 结构加工技术 |
| 1.3 UV-LIGA 及其与微细电火花加工技术组合 |
| 1.4 本文研究意义与主要内容 |
| 1.5 本文研究主要创新点 |
| 第二章 SU-8 胶光刻工艺研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 SU-8 胶及其光刻工艺基础 |
| 2.3 金属基片SU-8 胶光刻工艺试验研究 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 微细电铸液相传质过程数值分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 电化学沉积和液相传质理论基础 |
| 3.3 扩散传质过程数值分析 |
| 3.4 对流－扩散传质过程数值分析 |
| 3.5 温度梯度条件下复合对流－扩散传质 |
| 3.6 本章小结 |
| 第四章 微细电铸试验研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 微细电铸工艺基础 |
| 4.3 实验方案拟定 |
| 4.4 微细电铸工艺路线 |
| 4.5 阴极放置方式对电铸件形貌质量的影响 |
| 4.6 交替降压/高速冲液搅拌－热梯度微细电铸试验研究 |
| 4.7 超声电铸微器件试验研究 |
| 4.8 本章小结 |
| 第五章 微细电火花加工工具电极耐电蚀性研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 电极损耗的影响因素及降低电极损耗的措施 |
| 5.3 电铸电极材料电蚀性试验 |
| 5.4 结果与分析 |
| 5.5 电铸铜电极材料抗电蚀性综合分析 |
| 5.6 本章小结 |
| 第六章 UV-LIGA 和Micro EDM 组合加工初步试验研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 UV-LIGA 和Micro EDM 组合加工工艺基础 |
| 6.3 组合加工试验研究 |
| 6.4 本章小结 |
| 第七章 结论与展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 |
（9）SU-8微针执行器的研究（论文提纲范文）
| 第一章 前言 |
| 1.1 MEMS技术简介 |
| 1.2 微针的应用领域以及研究意义 |
| 1.3 国内外研究概况 |
| 1.3.1 氮化硅微壳构成的微针 |
| 1.3.2 埋藏式通道结构的微针 |
| 1.3.3 SOI构建的微针 |
| 1.3.4 垂直硅片的微针阵列 |
| 1.3.5 硅深刻蚀微针阵列 |
| 1.3.6 电镀钯微针 |
| 1.3.7 用模具制作微针的研究 |
| 1.4 小结 |
| 参考文献 |
| 第二章 微针执行器的设计 |
| 2.1 微针执行器的设计方案 |
| 2.1 材料的选择 |
| 2.2 隔膜执行器的选择和设计 |
| 参考文献 |
| 第三章 微针执行器的制备 |
| 3.1 MEMS工艺简介 |
| 3.2 以SU—8为牺牲层的微针制备方案 |
| 3.2.1 工艺流程 |
| 3.2.2 工艺方案的特点 |
| 3.2.3 详细工艺步骤及参数 |
| 3.3 以SU—8为牺牲层的逆序微针制备方案 |
| 3.4 以金属为牺牲层的微针制备方案 |
| 3.5 三个方案的比较 |
| 3.6 永磁阵列的制备 |
| 3.6.1 永磁阵列制备工艺的设备及电镀液配方 |
| 3.6.2 永磁阵列制备工艺的流程设计 |
| 参考文献 |
| 第四章 实验结果与讨论 |
| 4.1 工艺技术分析 |
| 4.2 永磁阵列制备工艺的结果及分析 |
| 4.3 微针制备工艺的结果及分析 |
| 参考文献 |
| 第五章 结论 |
| 5.1 研究成果 |
| 5.2 创新点 |
| 5.3 展望 |
| 发表论文及成果清单 |
| 致谢 |
（10）SU-8微针执行器的研究（论文提纲范文）
| 1 引 言 |
| 2 SU-8微针执行器实验方法 |
| 3 结果讨论 |
| 3.1 SU-8微针执行器原理 |
| 3.2 SU-8微针执行器组成和工艺特点 |
| 3.3 SU-8微针执行器工艺难点 |
| 3.4 SEM分析结果 |
| 4 总 结 |
四、基于SU-8胶的微针执行器的研制（论文参考文献）
- [1]长耳鸮初级飞羽阻尼减振特性仿生研究[D]. 高佳丽. 大连理工大学, 2015(03)
- [2]基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试[J]. 李以贵,谢长生,廖哲勋,朱军. 纳米技术与精密工程, 2014(03)
- [3]基于三维线算法的SU-8胶光刻模拟[D]. 吕明. 合肥工业大学, 2012(06)
- [4]PDMS在微流控生物芯片技术中的新型应用[D]. 汪鹏. 上海交通大学, 2009(03)
- [5]经皮给药用金属微针阵列的研究与设计[D]. 张骏勇. 华中科技大学, 2006(03)
- [6]UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D]. 明平美. 南京航空航天大学, 2006(10)
- [7]基于SU-8胶的微针执行器的研制[J]. 秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,夏善红. 仪器仪表学报, 2004(S2)
- [8]基于SU-8胶的微针执行器的研制[A]. 秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,夏善红. 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集, 2004(总第116期)
- [9]SU-8微针执行器的研究[D]. 秦宁. 中国科学院研究生院（电子学研究所）, 2004(01)
- [10]SU-8微针执行器的研究[J]. 秦宁,赵湛,陈绍凤,夏善红. 微纳电子技术, 2003(Z1)